사업개요
산업통상자원부, 대전광역시, (재)대전테크노파크는 반도체산업의 국내 기술경쟁력 성장 및 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보를 위해 다음과 같이 기업을 모집하오니, 관련기업의 많은 신청 바랍니다.
지원내용
구 분 지원프로그램 내용
기술
지원
시제품제작
○ 시제품 제조를 위한 합성공정 등 개발
○ 시제품 제조에 필요한 원료 및 재료 등 지원
○ 1기업당 15,000천원 이내 지원
기술지도 o EUV PR 소재 물성평가 후 결과분석 및 공정 최적화
(신규 구축 장비 및 기존 장비 활용)
물성평가 지원 o EUV용 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도 확인과 정성 분석, 정량 확인 등 제공
지원 장비
○ 시제품 제작 & 기술지도
- 회분식 반응기(60L~1,000L), 미세유체 반응시스템 및 연속흐름 반응 시스템
○ 물성평가 지원
- HPLC, 나노입도분석기, 분산안정도측정기, 수분측정기, 오토클레이브,
다중결정화스크리닝 시스템
