사업개요
❏ 사 업 명: 2026년 반도체 소부장기업 실증(장비사용료) 지원
❏ 사업목적: 관내 반도체 소부장기업 인프라 지원을 통한 제품화 촉진
❏ 사업기간: 2026. 2. 26.~2026. 9. 30.(약 7개월)
※한국나노기술원 장비를 필히 활용해야 하며, 사업기간 내 한국나노기술원에
장비사용료 납부를 완료한 건에 한하여 지원함
지원분야
반도체 장비 확보가 어려운 관내 반도체 소·부·장 중소·중견기업을 대상으로 한국나노기술원 연계 반도체 실증(장비사용료) 지원
지원대상
- 화성시 관내 반도체 소·부·장* 중소·중견기업
※본사, 공장, 연구소 중 1개 이상 화성시 소재 필수
*반도체 소재·부품·장비 분야란 웨이퍼 제조에서부터 노광, 식각, 증착,
세정, 패키징 등 전·후공정에 필요한 소재·부품·장비(「소재·부품·장비
산업 경쟁력 강화 및 공급망 안정화를 위한 특별조치법 시행령」제2조의
소재·부품·장비산업 대상 업종 분야의 제조기업)
지원내용
- 반도체 장비 확보가 어려운 관내 소부장기업에 성능평가,
검증 등에 소요되는 장비 사용료 지원 ※한국나노기술원 장비 활용 必
지원규모
- 5개사, 기업당 최대 9,000천원
- 상위 구간 적용으로 인해 산정 지원금이 직전 구간의 최대 지원금액보다
낮아질 경우, 직전 구간의 최대 지원금액을 보장함(부가가치세 제외)
