지원내용
구분 | 세부내용 | 지원기관
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시험·평가·인증 | • 반도체 소모품의 성능·품질 검증을 위한 시험·평가·인증 지원
* 관련 장비는 각 기관의 홈페이지 참조 | 강원테크노파크,
나노종합기술원,
한국표준과학연구원
연계 공정
테스트 지원 | • 양산테스트 후 웨이퍼(300mm) 단위에서의 후속·연계 공정
테스트 지원 | 나노종합기술원
양산검증
패턴웨이퍼
제공 | • 소모품 성능 및 공정 영향 평가를 위한 검증용 패턴 웨이퍼 제공
* 기업당 5장 제한 | 나노종합기술원
공정기술
컨설팅 및
기술지도 | • 반도체 소모품 기업의 공정기술 컨설팅 지원 | 나노종합기술원
• 반도체 소모품 관련 기술 애로 진단 및 원인 분석 지원 | 한국재료연구원
